高精度痕量气体分析仪（TGA-327）是一款专为测量氟化氢【qīng】(HF)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连【lián】续测量。
该分析仪内部管路都进行了特殊涂层【céng】，可以有效的减小氟化氢(HF)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采 用小体积腔设计，能够进一【yī】步提升测量速度。
光腔衰荡光谱（CRDS）与【yǔ】离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统【tǒng】技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性。
